池田屋原裝INFICON英富麗UL6000 Fab PLUS氦氣泄漏檢測器產(chǎn)品介紹技術(shù)參數(shù)

一、產(chǎn)品定位與核心優(yōu)勢

INFICON UL6000 Fab PLUS氦氣泄漏檢測器是專為半導(dǎo)體、光伏、平板顯示等制造領(lǐng)域打造的旗艦級檢漏設(shè)備，在UL6000 Fab系列基礎(chǔ)上升級而來，憑借靈敏度、超快檢測速度與智能集成功能，成為大容積真空設(shè)備泄漏檢測的理想選擇^。該設(shè)備搭載INFICONI·RISE智能上升率技術(shù)，可將傳統(tǒng)壓力上升測試與氦氣噴射法合二為一，將大容積設(shè)備檢漏時間壓縮至傳統(tǒng)方法的1/5以內(nèi)，同時保持對微小泄漏的精準捕捉能力。

二、核心技術(shù)與性能參數(shù)

1. 超高靈敏度檢測系統(tǒng)采用ULTRATEST™高靈敏度質(zhì)譜技術(shù)，可精準檢測原子量2、3、4的氣體，真空模式下最小可檢測泄漏率<5×10?12 mbar·l/s，吸槍模式下最小可檢測泄漏率<5×10?? mbar·l/s，輕松捕捉半導(dǎo)體制造中影響產(chǎn)品良率的微米級泄漏^。搭配多入口渦輪分子泵，在ULTRA真空模式下DN63法蘭接口氦氣抽速可達36L/s，確保泄漏信號快速響應(yīng)，50升容積設(shè)備響應(yīng)時間僅約1.4秒。

   智能軟件算法矩陣內(nèi)置I·CAL智能泄漏率計算算法，可自動適配不同測試環(huán)境，在全量程范圍內(nèi)實現(xiàn)快速響應(yīng)；HYDRO·S氫氣抑制技術(shù)能有效降低環(huán)境中氫氣干擾，縮短測試準備時間。I·RISE功能可在10秒內(nèi)完成壓力上升率測量，結(jié)合氦氣噴射法同步定位泄漏點，大幅減少設(shè)備停機維護時間。

2. 關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)

• 機械規(guī)格：尺寸1050mm×472mm×1040mm，重量約144kg，配備DN63 ISO-K進氣法蘭，支持DN40適配器兼容小口徑設(shè)備

• 電氣性能：100-240V寬電壓輸入，功耗1500VA，真空抽氣時典型功耗1000VA，測量運行時低至800VA

• 效率指標：50升容積抽至1mbar僅需52秒，校準時間<30秒，系統(tǒng)啟動時間<2分鐘，支持USB、以太網(wǎng)、HDMI等多接口數(shù)據(jù)傳輸

三、典型應(yīng)用場景

1. 半導(dǎo)體制造領(lǐng)域針對晶圓制造設(shè)備、真空鍍膜腔體、光刻系統(tǒng)等大容積真空部件，可快速檢測出<1×10?? mbar·l/s的微小泄漏，避免因真空度不足導(dǎo)致的晶圓污染與工藝缺陷，提升產(chǎn)品良率^。在設(shè)備維護階段，I·RISE技術(shù)可快速完成整體泄漏評估與精準定位，將單臺設(shè)備維護時間從數(shù)小時縮短至幾十分鐘。

2. 光伏與平板顯示行業(yè)適用于PECVD鍍膜設(shè)備、玻璃基板傳輸系統(tǒng)等大型真空裝置的泄漏檢測，確保鍍膜工藝穩(wěn)定性，減少因泄漏導(dǎo)致的薄膜不均勻問題。對于卷對卷鍍膜設(shè)備，可在生產(chǎn)線不停機狀態(tài)下進行在線檢漏，保障連續(xù)生產(chǎn)效率。

3. 航空航天與科研領(lǐng)域滿足衛(wèi)星真空模擬艙、火箭發(fā)動機部件等高精度真空系統(tǒng)的泄漏檢測需求，在環(huán)境下仍能保持穩(wěn)定檢測性能，為航天產(chǎn)品可靠性提供保障。