AA100W 是荏原制作所（EBARA Corporation）推出的一款單級、氣冷式、干式螺旋真空泵。它采用無油干式壓縮技術，泵腔內無需任何潤滑油或密封液，因此排出的氣體潔凈無油霧，不會污染工藝環境或被抽容器。
該型號屬于AA系列，定位于中等抽速、高可靠性、低維護的應用場景，是油旋片泵和液環泵的理想升級替代品，尤其適用于需要清潔真空且對運行成本敏感的場合。
2. 核心特性
無油、清潔真空
泵腔內無油潤滑，排氣不含油霧
不會產生油蒸氣回流，不污染工藝氣體或設備
適合半導體、分析儀器、實驗室等對環境潔凈度要求高的場合
氣冷式設計，無需水冷
采用空氣冷卻（風扇強制風冷），無需連接冷卻水
簡化安裝，降低運行成本
適合缺水或不便接冷卻水的場所
單級壓縮，結構簡單
相比多級干泵，AA100W 結構更緊湊
維護更簡便，零部件少
性價比高
耐腐蝕能力強
泵體內部流道經過特殊涂層處理（如Ni-P涂層、特氟龍涂層，視具體版本）
可耐受半導體工藝中常見的腐蝕性氣體（如Cl?、BCl?、SF?等）
對于可凝性蒸氣（如水汽、有機溶劑）有一定耐受能力
低噪音、低振動
采用平衡良好的螺旋轉子，運行平穩
無需復雜的隔振基礎，可放置在機臺內部或支架上
易于維護
無油品更換、無油過濾器、無油霧分離器等耗材
軸承采用長效潤滑脂密封，壽命長
維護周期長，降低總擁有成本
3. 工作原理
AA100W 采用螺桿式（螺旋式）干壓縮原理：
一對相互嚙合的螺旋轉子在泵腔內同步反向旋轉
氣體從進氣口吸入，被轉子逐漸壓縮，從排氣口排出
轉子之間及轉子與泵腔之間保持微小間隙，無需潤滑劑密封
壓縮熱通過泵體散熱片和強制風冷風扇散出
二、技術參數
注意：以下參數基于 EBARA AA100W 代表性規格整理。不同版本（如標準型、耐腐蝕型、高排氣溫度型）可能存在差異，請以最新規格書為準。
1. 基本性能參數
| 項目 | 參數 |
|---|---|
| 抽速（50Hz） | 約 100 m3/h（≈ 1670 L/min） |
| 抽速（60Hz） | 約 120 m3/h（≈ 2000 L/min） |
| 極限壓力 | ≤ 2.0 Pa（絕對壓力，約 1.5×10?2 Torr） |
| 最大入口壓力 | 大氣壓（1013 hPa） |
| 最大排氣壓力 | 大氣壓（直排） |
2. 電機與電氣參數
| 項目 | 參數 |
|---|---|
| 電機功率 | 約 2.2 kW ～ 3.0 kW（視電壓/頻率） |
| 電源電壓 | 三相 AC 200V～230V / 380V～460V（50/60Hz） |
| 額定電流 | 約 8A～12A（視電壓） |
| 啟動方式 | 直接啟動或星三角啟動（推薦） |
| 電機防護等級 | IP54 或 IP55（防塵防水） |
| 絕緣等級 | F 級 |
3. 冷卻方式
| 項目 | 參數 |
|---|---|
| 冷卻方式 | 強制風冷（內置風扇） |
| 環境溫度范圍 | 5℃ ～ 40℃ |
| 最高排氣溫度 | 約 80℃ ～ 120℃（視工況） |
4. 接口與連接尺寸
| 項目 | 參數 |
|---|---|
| 進氣口法蘭 | JIS VG 50 / ISO-KF 50（或 NW50） |
| 排氣口法蘭 | JIS VG 40 / ISO-KF 40（或 NW40，帶消音器） |
| 冷卻空氣接口 | 自帶風扇，無外部接口 |
| 吹掃氣體接口 | 1/4英寸卡套接頭（用于N?吹掃，可選） |
5. 材質與耐腐蝕性
| 部件 | 材質 |
|---|---|
| 泵體 | 鑄鐵或鋁合金（經涂層處理） |
| 轉子 | 球墨鑄鐵（經特殊涂層） |
| 涂層（標準型） | Ni-P 化學鍍鎳 |
| 涂層（耐腐蝕型） | PTFE（特氟龍）或 PFA（全氟烷氧基樹脂） |
| 密封件 | FKM（氟橡膠）或 FFKM（全氟醚橡膠） |
| 軸承 | 密封式深溝球軸承（長效潤滑脂） |
6. 噪音與振動
| 項目 | 參數 |
|---|---|
| 噪音（1m處，無消音器） | ≤ 72 dB(A) |
| 噪音（帶消音器） | ≤ 68 dB(A) |
| 振動 | ≤ 2.8 mm/s（RMS） |
7. 環境與安裝
| 項目 | 參數 |
|---|---|
| 工作環境溫度 | 5℃ ～ 40℃ |
| 工作環境濕度 | ≤ 90% RH（無凝結） |
| 存儲溫度 | -20℃ ～ 60℃ |
| 安裝方式 | 水平安裝（橡膠減震腳墊） |
| 防護等級 | IP54（標準型） |
8. 外形尺寸與重量
| 項目 | 尺寸（mm） |
|---|---|
| 長度（L） | 約 500 ～ 600 |
| 寬度（W） | 約 300 ～ 400 |
| 高度（H） | 約 350 ～ 450 |
| 重量 | 約 80 ～ 100 kg（視配置） |
具體尺寸建議參考產品圖紙或咨詢荏原代理商。
9. 吹掃（Purge）功能（可選）
| 項目 | 參數 |
|---|---|
| 吹掃氣體 | N?（氮氣）或干燥空氣 |
| 吹掃流量 | 10 ～ 50 L/min（典型） |
| 吹掃接口 | 1/4英寸卡套 |
| 作用 | 稀釋腐蝕性氣體、稀釋可凝性蒸氣、冷卻轉子、防止粉塵堆積 |
三、典型用途與應用場景
AA100W 憑借其中等抽速、無油潔凈、耐腐蝕、氣冷方便等特點，廣泛應用于以下領域：
| 應用領域 | 具體用途 |
|---|---|
| 半導體制造 | 蝕刻設備（干法蝕刻）、CVD（化學氣相沉積）設備的反應腔預抽及工藝排氣；晶圓傳輸腔（Load Lock）抽空 |
| FPD（平板顯示） | LCD/OLED 面板制造中的沉積、蝕刻工藝腔排氣 |
| LED/光電 | MOCVD（金屬有機化學氣相沉積）設備尾氣處理前的粗抽 |
| 光伏（太陽能電池） | PECVD（等離子增強化學氣相沉積）設備工藝腔排氣 |
| 分析儀器 | 電子顯微鏡（SEM/TEM）樣品交換室預抽；質譜儀前級泵；表面分析設備（XPS/AES）輔助真空 |
| 科研實驗室 | 真空鍍膜系統（蒸發鍍、濺射鍍）的粗抽；真空干燥箱；手套箱再生 |
| 一般工業 | 真空包裝；真空脫氣（樹脂、環氧樹脂）；真空吸附/搬運；熱處理爐排氣 |
| 化學制藥 | 溶劑回收系統粗真空（需配合冷阱）；真空蒸餾（需耐腐蝕版本） |
四、與其他真空泵對比
| 對比項 | AA100W（干式螺桿） | 油旋片泵（同抽速） | 爪式干泵（同抽速） | 渦旋干泵（同抽速） |
|---|---|---|---|---|
| 排氣潔凈度 | 無油 | 有油霧 | 無油 | 無油 |
| 極限壓力 | ≤2 Pa | ≤0.5 Pa | ≤1 Pa | ≤1 Pa |
| 耐腐蝕氣體 | 良好（涂層） | 差（油易變質） | 良好 | 一般 |
| 耐粉塵顆粒 | 良好（平滑流道） | 差（油中沉積） | 良好 | 一般（渦旋盤易磨損） |
| 冷卻方式 | 風冷 | 風冷 | 風冷 | 風冷 |
| 維護頻率 | 低（每1-2年） | 高（每月換油） | 低 | 中等（換頂端密封） |
| 運行噪音 | ≤72dB | ≤70dB | ≤75dB | ≤65dB |
| 總擁有成本 | 中等（無耗材） | 高（油+過濾器） | 中等 | 中等 |
五、使用注意事項
啟動前準備：
確保進氣口和排氣口管路連接正確且無堵塞。
確認電源電壓和頻率與泵銘牌一致。
檢查進氣口是否安裝粗濾網（<100目），防止大顆粒異物進入泵腔。
腐蝕性氣體處理：
對于強腐蝕性氣體（如Cl?、HCl、HF、BCl?），建議選配耐腐蝕涂層版本（PTFE/PFA涂層），并在停機前進行氮氣吹掃，將泵腔內殘余氣體置換干凈。
建議在進氣口前端安裝冷阱或洗滌塔，減少可凝性蒸氣進入泵體。
可凝性蒸氣處理：
若工藝產生大量水汽或有機溶劑蒸氣，建議開啟氮氣吹掃（10-20 L/min），稀釋蒸氣并降低其在泵腔內冷凝的風險。
保持泵的排氣溫度高于蒸氣的露點溫度（可通過降低冷卻風扇風量或關閉部分散熱片實現，需咨詢廠家）。
粉塵顆粒物：
在泵進氣口前安裝高效過濾器（過濾精度 ≤1μm），防止粉塵進入泵腔磨損轉子或堵塞間隙。
環境通風：
AA100W 是風冷式，必須確保泵周圍有足夠的通風空間（至少20-30cm），以便熱空氣散出。如果安裝在密閉機柜內，機柜需加裝排風扇。
定期檢查：
每月：檢查進氣口濾網、排氣口是否通暢；檢查風扇是否正常運轉；傾聽有無異常噪音。
每6個月：檢查所有緊固螺栓是否松動；測量電機電流是否在正常范圍內。
每年：更換進氣口密封圈（如有老化）；檢查軸承是否有異常發熱或噪音。
軸承壽命：通常為 20000 小時以上，出現異響時需更換。
停機注意事項：
如果泵用于腐蝕性氣體工藝，停機前必須進行氮氣吹掃（至少10分鐘），將泵腔內的腐蝕性氣體置換干凈，防止停機后冷凝腐蝕。
長期停機（超過1個月）前，可注入少量干燥氮氣，封閉進氣口和排氣口，防止潮氣進入。
六、產品優勢總結
| 優勢 | 說明 |
|---|---|
| 無油 | 排氣潔凈，無油霧污染，適合潔凈工藝 |
| 風冷設計 | 無需冷卻水，安裝簡便，運行成本低 |
| 耐腐蝕 | 特殊涂層處理，耐受半導體工藝腐蝕性氣體 |
| 低維護 | 無油品/耗材更換，維護間隔長 |
| 中等抽速 | 100-120 m3/h，覆蓋多數實驗室及工業需求 |
| 低噪音 | ≤68-72 dB(A)，適合室內安裝 |
| 可靠性高 | 荏原品牌，全球服務網絡 |
七、典型配置示例
半導體蝕刻設備配套：
主泵：AA100W（耐腐蝕涂層版）
前級：無（AA100W可直接排大氣）
進氣口：安裝不銹鋼燒結過濾器（5μm）
出氣口：排氣管道接至廠務排氣系統
吹掃：連接N?管路，流量20 L/min，與工藝機臺聯動控制
實驗室鍍膜系統：
主泵：AA100W（標準版）
前級：無（或配小型渦旋泵提高極限真空）
進氣口：安裝100目不銹鋼濾網
出氣口：配消音器+活性炭過濾器（吸收微量油霧）
八、總結
EBARA 荏原 AA100W 是一款中等抽速（100 m3/h）、風冷、無油、耐腐蝕的干式螺桿真空泵。其核心價值在于：
提供潔凈的粗真空，無油霧污染
氣冷設計簡化安裝，降低運行成本
耐腐蝕涂層適應半導體等嚴苛工藝
低維護、長壽命，降低總擁有成本
它是油旋片泵的理想升級替代品，廣泛應用于半導體、FPD、LED、光伏、分析儀器、科研實驗及一般工業的粗真空獲取場景。
