在科學(xué)實(shí)驗(yàn)、分析儀器、半導(dǎo)體制造以及醫(yī)療設(shè)備等眾多高精尖領(lǐng)域，真空環(huán)境的質(zhì)量直接影響著最終結(jié)果的精度與產(chǎn)品的良率。愛發(fā)科ULVAC作為全球真空技術(shù)領(lǐng)域，推出了DTC-41隔膜式干泵。該產(chǎn)品采用無油的設(shè)計理念，杜絕了油蒸氣對真空腔體及工作環(huán)境的污染，成為對潔凈度有嚴(yán)苛要求的應(yīng)用場景的理想選擇。
一、產(chǎn)品介紹
DTC-41是一款小型、緊湊的隔膜式干泵。“干泵"意味著泵的抽氣腔室內(nèi)不使用任何油或水作為工作介質(zhì)，被抽氣體通過泵體時不會接觸潤滑油，從而保證排出氣體的純凈無油。這從根本上解決了傳統(tǒng)油封旋片泵可能帶來的油蒸氣返流、油霧排放以及定期更換泵油的繁瑣維護(hù)問題。
DTC-41的核心工作原理是基于隔膜的往復(fù)運(yùn)動。泵內(nèi)的電機(jī)通過偏心機(jī)構(gòu)驅(qū)動彈性隔膜做周期性伸縮運(yùn)動，配合精密的單向閥，實(shí)現(xiàn)氣體的吸入、壓縮與排出。整個運(yùn)動過程中，僅有隔膜和閥片與氣體接觸，這些部件均采用耐腐蝕、耐老化的特種氟橡膠或高分子材料制成，確保了泵在長期運(yùn)行中的化學(xué)穩(wěn)定性與機(jī)械耐久性。
外觀上，DTC-41結(jié)構(gòu)緊湊、體積小巧、重量輕便，可輕松放置在實(shí)驗(yàn)臺面上或集成到各類儀器設(shè)備內(nèi)部。表面經(jīng)過特殊處理，耐腐蝕且易于清潔。泵體運(yùn)行時噪音極低、振動微小，不會對周圍高靈敏度的分析儀器產(chǎn)生干擾，非常適合在安靜的實(shí)驗(yàn)室環(huán)境中長期工作。
二、技術(shù)參數(shù)
| 參數(shù)項(xiàng)目 | 技術(shù)規(guī)格 |
|---|---|
| 抽速（50/60Hz） | 40 / 48 L/min |
| 極限壓力 | ≤ 6.7 × 103 Pa |
| 最大排氣壓力 | 0.3 MPa（表壓） |
| 進(jìn)氣口口徑 | Rc 1/4 或 M14×1.5（外螺紋） |
| 排氣口口徑 | Rc 1/4（內(nèi)螺紋） |
| 接觸氣體材料 | 隔膜：特種氟橡膠；閥片：氟橡膠；泵頭：鋁合金（表面處理） |
| 額定電壓 | AC 100V / 115V / 200V / 220V / 230V / 240V（50/60Hz，取決于型號） |
| 電機(jī)功率 | 約 70 W |
| 電流（典型值） | 1.0 ~ 1.5 A（依電壓而定） |
| 工作溫度范圍 | 5℃ ~ 40℃（無結(jié)冰） |
| 涂裝色 | 主體：米色；頂蓋：深灰色 |
| 安裝方式 | 水平安裝（帶橡膠腳墊） |
| 重量 | 約 8.5 kg |
| 外形尺寸（寬×深×高） | 約 142 × 300 × 185 mm（不含突出部） |
| 噪音水平（50/60Hz） | ≤ 46 / 52 dB(A)（1米處） |
| 振動 | 極低（無需特殊減振基礎(chǔ)） |
| 適用氣體 | 空氣、惰性氣體、低腐蝕性氣體（非易燃易爆） |
| 最大允許含水率 | 無結(jié)露 |
| 防護(hù)等級 | IP20 |
| 冷卻方式 | 自然空冷（風(fēng)扇輔助散熱） |
| 使用壽命 | 隔膜：約 5000 ~ 10000 小時（依使用條件） |
| 維護(hù)周期 | 通常 1 年或 5000 小時（建議檢查/更換隔膜） |
三、用途與典型應(yīng)用場景
1. 分析儀器與科學(xué)實(shí)驗(yàn)室
這是DTC-41最主要的應(yīng)用領(lǐng)域。在質(zhì)譜分析儀（GC-MS、LC-MS、ICP-MS）中，DTC-41常作為前級粗抽泵，為渦輪分子泵提供預(yù)備真空，同時確保無油蒸氣污染分析室，避免背景噪聲升高。在電子顯微鏡（SEM、TEM）中，用于樣品交換室的快速抽空，防止樣品被碳?xì)浠衔镂廴尽４送猓诒砻婵茖W(xué)設(shè)備（XPS、AES）、真空干燥箱、真空濃縮儀、離心濃縮機(jī)、冷凍干燥機(jī)等實(shí)驗(yàn)室通用設(shè)備中，DTC-41提供穩(wěn)定持久的真空動力。
2. 半導(dǎo)體與電子制造
在晶圓搬運(yùn)與吸附系統(tǒng)中，DTC-41提供清潔的真空源，確保吸盤不會因油霧而污染晶圓背面。在氦質(zhì)譜檢漏儀中，作為粗抽泵，其無油特性避免了檢漏儀內(nèi)部質(zhì)譜室的污染，延長核心部件壽命。在芯片封裝點(diǎn)膠前，用于對區(qū)域抽真空以去除氣泡，避免膠體污染。
3. 醫(yī)療與生物技術(shù)
在部分需要高潔凈度負(fù)壓的醫(yī)療設(shè)備中，DTC-41可作為負(fù)壓源用于廢液吸引。在真空采血管生產(chǎn)過程中，對管內(nèi)進(jìn)行抽真空處理，保證管內(nèi)潔凈。在生物安全柜中，用于維持負(fù)壓梯度，防止有害氣溶膠外泄。
4. 環(huán)境監(jiān)測與處理
在大氣環(huán)境監(jiān)測、煙道氣分析、汽車尾氣檢測等應(yīng)用中，DTC-41作為采樣泵，其無油特性確保抽取的氣體樣本不會被油蒸氣污染，保證NOx、SOx、VOCs等微量成分的測量準(zhǔn)確度。在環(huán)境水樣的真空過濾中，提供安靜、清潔的抽濾動力。
5. 科研與教育
在大學(xué)物理、化學(xué)、材料科學(xué)實(shí)驗(yàn)室及中學(xué)物理教學(xué)演示中，DTC-41是理想的真空源設(shè)備。它安全、安靜、無需加油維護(hù)，學(xué)生可在無油霧異味的環(huán)境中學(xué)習(xí)真空的基本原理和操作方法，可用于真空沸騰、真空包裝演示、真空浸漬等實(shí)驗(yàn)。
四、總結(jié)
愛發(fā)科ULVAC DTC-41隔膜式干泵集潔凈、安靜、可靠、免維護(hù)于一身，以創(chuàng)新的隔膜技術(shù)為核心，為分析儀器、實(shí)驗(yàn)室科研、半導(dǎo)體制造、醫(yī)療設(shè)備及環(huán)境監(jiān)測等眾多應(yīng)用領(lǐng)域提供了潔凈無油的真空環(huán)境。選擇DTC-41，意味著選擇了對樣品純度與實(shí)驗(yàn)精度的尊重，對實(shí)驗(yàn)室環(huán)境與人員健康的負(fù)責(zé)態(tài)度，以及低維護(hù)成本、高運(yùn)行穩(wěn)定性的長期解決方案。
