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產(chǎn)品分類
Product Category南國柔性軟管工業(yè)株式會社（Nankoku Flexible Hose Industry Co., Ltd.）推出的 NK-2300V 真空法蘭型軟管，是一款專為真空系統(tǒng)設(shè)計的柔性連接元件，采用 JIS VG-VF 法蘭組合，適用于配管誤差調(diào)整、位移吸收、振動抑制及運動響應(yīng)，但不適用于扭曲吸收。適用管材為 CLT（超柔性）管，內(nèi)徑覆蓋 10A 至 100A，長度可按需定制（200mm 至 3M）。該產(chǎn)品允許泄漏率 ≤ 1.33 × 10?1? Pa·m3/s，適用于氣體/空氣介質(zhì)（僅限不腐蝕不銹鋼的流體），工作溫度范圍為 -15 至 150℃，工作壓力從真空至 0.1MPa。
| 項目 | 規(guī)格 |
|---|---|
| 品名 | NK-2300V |
| 類型 | 真空法蘭型軟管 |
| 適用管材 | CLT（超柔性） |
| 適用內(nèi)徑 | 10A ～ 100A（100A 以上可定制） |
| 標(biāo)準(zhǔn)長度 | 200mm ～ 3M（可定制） |
| 適用流體 | 氣體/空氣（僅限不腐蝕不銹鋼的流體） |
| 工作溫度 | -15 ～ 150℃ |
| 工作壓力 | 真空 ～ 0.1 MPa |
| 允許泄漏率 | ≤ 1.33 × 10?1? Pa·m3/s |
| 法蘭標(biāo)準(zhǔn) | JIS VG-VF 法蘭組合 |
| 法蘭材質(zhì) | SUS304 / SUS316L |
| 管材材質(zhì) | SUS304 / SUS316L |
| 口徑（A） | 管內(nèi)徑（mm） | 管外徑（mm） | 板厚（mm） | 波峰高度（mm） | 波距（mm） | 彈簧常數(shù)（N/mm·波） |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 25A | 33.0 | 44.0 | 0.2 | 5.3 | 6.0 | 358 |
| 40A | 50.5 | 65.0 | 0.25 | 7.0 | 7.0 | 484 |
| 50A | 66.0 | 86.0 | 0.3 | 9.7 | 10.0 | 408 |
| 65A | 78.0 | 100.5 | 0.3 | 11.0 | 11.0 | 337 |
| 80A | 78.0 | 100.5 | 0.3 | 11.0 | 11.0 | 337 |
| 100A | 103.0 | 126.0 | 0.3 | 11.2 | 12.0 | 391 |
1. JIS VG-VF 真空法蘭組合
采用 JIS 標(biāo)準(zhǔn) VG（真空用）和 VF（真空法蘭）法蘭組合，確保與標(biāo)準(zhǔn)真空系統(tǒng)配管的兼容性和密封可靠性。
2. CLT 超柔性管材
適用管材為 CLT（超柔性）管，具有優(yōu)異的彎曲性能，適用于需要頻繁運動或空間受限的真空管路安裝環(huán)境。
3. 超低泄漏率
允許泄漏率 ≤ 1.33 × 10?1? Pa·m3/s，滿足高真空系統(tǒng)的密封要求。
4. 真空至 0.1MPa 寬壓力范圍
既可承受真空負(fù)壓，也可承受最高 0.1MPa 的正壓，適用于多種真空工藝場景。
5. 寬溫度適應(yīng)范圍
工作溫度 -15 至 150℃，適用于從常溫到中溫的真空工藝。
6. 全不銹鋼材質(zhì)
管材、法蘭均為 SUS304/SUS316L 不銹鋼，耐腐蝕性好，適用于潔凈真空環(huán)境。
7. 氦氣泄漏測試
出廠前經(jīng)過氦氣泄漏測試（≤1×10?? Torr-L/秒），確保產(chǎn)品密封性能。
| 應(yīng)用類型 | 說明 |
|---|---|
| 真空設(shè)備管路連接 | 真空腔體與真空泵之間的柔性連接 |
| 真空配管誤差調(diào)整 | 吸收真空管路安裝過程中的微小偏差 |
| 真空泵振動抑制 | 減少真空泵振動向管路的傳遞 |
| 真空系統(tǒng)熱位移吸收 | 吸收真空管路熱膨脹引起的位移 |
| 半導(dǎo)體制造設(shè)備 | 真空管路系統(tǒng)柔性連接 |
| 分析儀器 | 質(zhì)譜儀、電子顯微鏡等真空系統(tǒng)連接 |
口徑匹配：確認(rèn)真空管路口徑（10A ～ 100A，更大口徑可定制）
法蘭標(biāo)準(zhǔn)：確認(rèn) JIS VG-VF 法蘭是否與現(xiàn)有配管匹配
長度：根據(jù)安裝空間和所需位移量確定軟管長度（200mm ～ 3M）
工作溫度：確認(rèn)系統(tǒng)溫度在 -15 ～ 150℃ 范圍內(nèi)
工作壓力：確認(rèn)系統(tǒng)壓力在真空 ～ 0.1MPa 范圍內(nèi)
泄漏率要求：確認(rèn)系統(tǒng)允許泄漏率是否 ≥ 1.33 × 10?1? Pa·m3/s
安裝注意：本產(chǎn)品不可用于吸收扭曲，安裝時需避免扭轉(zhuǎn)應(yīng)力
南國柔性軟管 NK-2300V 真空法蘭型軟管通過 JIS VG-VF 法蘭組合、CLT 超柔性管材及超低泄漏率設(shè)計，為真空系統(tǒng)提供了一種高密封性、高柔性的管路連接方案。其 10A 至 100A 的口徑覆蓋、-15 至 150℃ 的溫度適應(yīng)范圍及真空至 0.1MPa 的壓力適用范圍，適用于半導(dǎo)體制造設(shè)備、分析儀器及一般工業(yè)真空系統(tǒng)等對泄漏率要求嚴(yán)格的真空管路柔性連接場景。
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