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產品分類
Product CategoryULVAC愛發科推出的 RDA-501H 多級羅茨型干泵，是一款實現與油旋轉泵同等性能的無油干式真空泵。型號 RDA-501H 有效排氣速度 500 L/min，極限壓力可達 8.0×10?2 Pa（F.A 開時），具備從大氣壓到極限壓力全范圍運行能力，無需冷卻水，適用于分析設備、氣體回收系統、鍍膜設備及渦輪分子泵前級泵等應用場景。
| 項目 | 規格 |
|---|---|
| 型號 | RDA-501H |
| 有效排氣速度 | 500 L/min |
| 極限壓力（F.A開時） | ≤ 8.0×10?2 Pa |
| 極限壓力（F.A關時） | ≤ 6.0 Pa |
| 電動機 | 720W + 10W DC 電機 |
| 電源電壓（單相） | 100～115V / 200～240V |
| 電源電壓（三相） | 200～240V |
| 全負荷電流（單相） | 10/5 A |
| 全負荷電流（三相） | 5 A |
| 重量 | 38 kg |
| 吸氣口徑 | KF-25 |
| 排氣口徑 | KF-25 |
| 使用環境溫度 | 5 ～ 40℃ |
| 最大水分吸引量 | ≤ 300 g/h |
| 最大尺寸（RDA-501H） | 180(W) × 520(L) × 377(H) mm |
| 最大尺寸（RDA-501HA） | 180(W) × 588(L) × 377(H) mm |
1. 干式無油設計
采用多級羅茨轉子結構，泵體內無油運行，不會發生真空油的返流和油霧，排氣清潔。
2. 全壓力范圍運行
可從大氣壓力到極限壓力范圍內連續運行，無需旁通管路。
3. 強水蒸氣應對能力
最大水分吸引量達 300 g/h，適用于含有水蒸氣的排氣工藝。
4. 無需冷卻水
采用空冷設計，無需配備冷卻水配管。
5. 長壽命
無滑動部件，磨損極小，使用壽命長。
6. 多種電源對應
單相（100-240V）和三相（200-240V）均可適用，適配不同現場電源條件。
| 型號 | 認證標準 | 1Φ100～115V | 1Φ200～240V | 3Φ200～240V |
|---|---|---|---|---|
| RDA-501H | — | — | ● | ● |
| RDA-501HA | cTUVus | ● | ● | ● |
| 應用領域 | 說明 |
|---|---|
| 分析設備 | 質譜儀、電子顯微鏡等的前級泵 |
| 氣體回收系統 | 稀有氣體的回收與循環 |
| 鍍膜設備 | 濺射、蒸鍍等真空鍍膜工藝 |
| 渦輪分子泵前級泵 | 作為 TMP 的前級泵使用 |
| 氦檢漏儀 | 檢漏系統的真空泵 |
| 半導體制造工藝 | 無油清潔環境下的排氣 |
電源條件：確認現場電源為單相或三相，電壓是否在適用范圍內
認證要求：如需 cTUVus 認證，選擇 RDA-501HA 型號
安裝環境：僅限室內使用，環境溫度 5～40℃
排氣成分：不適用于爆炸性、易燃性、有毒或腐蝕性氣體
粉塵防護：含粉塵或生成物的氣體需安裝吸氣阱
吸入粉末或生成物會導致泵損壞，請使用吸氣阱
禁止抽排有害、爆炸性、易燃性或腐蝕性氣體，否則可能導致故障、爆炸或火災
僅供室內使用，請勿安裝于下雨或淹水的地方或室外
泵的重量約 38kg，搬運時請注意安全
使用環境溫度低于 5℃ 時，泵內部件可能卡死，導致泵停止運行
ULVAC RDA-501H 多級羅茨型干泵通過六段羅茨轉子結構和無油干式設計，為分析設備、鍍膜工藝及半導體制造等應用提供了一套清潔、高性價比的真空解決方案。其 500 L/min 的排氣速度、8.0×10?2 Pa 的極限壓力及無需冷卻水的設計，適用于需要清潔真空的各類工業和研究場景。
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