池田屋新品VAT 59.0 UHV全金屬可變泄漏閥59024-GE01正式發(fā)布

摘要：
近日，池田屋實業(yè)有限公司宣布正式推出瑞士VAT公司59.0系列UHV全金屬可變泄漏閥（型號：59024-GE01）。該產品采用全金屬設計與鍍金不銹鋼膜片密封技術，可精確控制極小氣體流量（1×10?1?mbar·L/s至500mbar·L/s），壓力范圍覆蓋UHV至10bar（絕對壓力），泄漏率低于1×10?1?mbar·L/s，適配DN 16（?英寸）口徑與CF-R可旋轉法蘭。該型號專為超高真空與超高真空工藝中的高精度氣體計量應用設計，為科研與制造領域提供精確可重復的氣體流量控制解決方案。

正文：

在表面科學、薄膜沉積、離子注入及質譜分析等超高真空（UHV）與超高真空（XHV）工藝中，精確可控的微量氣體引入是實現工藝優(yōu)化的關鍵環(huán)節(jié)。無論是反應氣體的精確配比、背景氣體的精細調節(jié)，還是泄漏率的精確測量，都需要能夠在極小流量范圍內實現高精度、高可重復性控制的泄漏閥。傳統(tǒng)彈性體密封泄漏閥在超高真空環(huán)境下存在釋氣與密封疲勞問題，難以滿足真空應用的需求。針對這一行業(yè)需求，池田屋實業(yè)有限公司正式引入瑞士VAT公司59.0系列UHV全金屬可變泄漏閥（型號：59024-GE01）。該產品的推出，為超高真空與超高真空工藝提供了兼具高精度氣體計量、全金屬密封與長壽命的綜合解決方案。

型號59024-GE01的核心技術優(yōu)勢在于其全金屬設計、寬范圍可調氣體流量與高精度控制的協(xié)同配合。該產品采用全金屬設計——高級不銹鋼閥體與鍍金不銹鋼膜片閘密封，具有優(yōu)異的耐腐蝕性與抗侵蝕性氣體能力，可避免密封疲勞風險，在整個使用壽命期間提供可靠的密封性能?？烧{節(jié)氣體流量范圍覆蓋1×10?1?mbar·L/s至500mbar·L/s，可精確控制極小的氣體流量，滿足超高真空工藝對微量氣體引入的嚴苛要求。特殊控制功能可確保氣體流量設定的精確性和可重復性，增強過程控制能力。壓力范圍覆蓋UHV至10bar（絕對壓力），泄漏率低于1×10?1?mbar·L/s。適配DN 16（?英寸）口徑與CF-R可旋轉法蘭，角閥死體積（閥座側/側端口）分別為2.7cm3/1.1cm3。執(zhí)行器為手動操作（手輪），配備可視（機械）位置指示。閥體最高烘烤溫度300℃，手動執(zhí)行器最高300℃，帶步進電機控制器最高50℃。在潔凈條件下，密封關閉循環(huán)壽命達10,000次，控制循環(huán)達400,000次，無需維修，隔膜可作為備件輕松更換。

在結構設計與操作靈活性層面，59024-GE01同樣表現。產品提供角閥與直通閥兩種版本，執(zhí)行器可選手動操作或集成式/可拆卸式步進電機壓力控制器。配備可拆卸式控制器時，閥門可在最高300℃下烘烤（控制器拆卸后）。

從典型應用場景來看，型號59024-GE01適用于表面科學分析系統(tǒng)中的微量氣體引入、薄膜沉積工藝的反應氣體精確配比、離子注入設備的氣體流量控制，以及質譜與氣體分析系統(tǒng)的標準氣體泄漏校準等場景。池田屋技術團隊指出，59.0系列在精密測量與自動化控制方面表現穩(wěn)健，是超高真空高精度氣體計量應用的理想選擇。

池田屋實業(yè)有限公司表示，此次將VAT 59.0系列UHV全金屬可變泄漏閥59024-GE01引入國內市場，旨在為本土科研與制造企業(yè)提供兼具高精度氣體計量與全金屬密封的真空流體管理解決方案。未來，池田屋將持續(xù)圍繞精密測量、自動化控制與流體管理三大方向深耕，助力中國超高真空技術的裝備升級與效能提升。