池田屋新品高野緊湊型質量流量控制器SMFC-0005正式發(fā)布

摘要：
近日，池田屋實業(yè)有限公司宣布正式推出高野株式會社（TAKANO）SMFC系列緊湊型質量流量控制器（型號：SMFC-0005）。該產品為常閉型直動式電磁閥，適用流體為氮氣、空氣、氧氣，滿量程流量5L/min，可控流量范圍4至100%FS（0.2至5L/min），流量控制精度±5.0%RD（2至5L/min）/±3.0%FS（0.2至2L/min），重復性±1.5%FS，響應時間2秒以內，重量約200g。該型號為精密氣體流量控制系統(tǒng)提供緊湊、高精度的質量流量控制解決方案。

正文：

在半導體制造、分析儀器、醫(yī)療設備及環(huán)境監(jiān)測等領域，氣體流量的精確控制是保障工藝穩(wěn)定與數(shù)據可靠的關鍵環(huán)節(jié)。對于中小流量的精確調節(jié)，質量流量控制器需在保證控制精度的同時具備緊湊結構與快速響應能力。針對這一行業(yè)需求，池田屋實業(yè)有限公司正式引入高野株式會社SMFC系列緊湊型質量流量控制器，型號SMFC-0005。該產品的推出，為精密氣體流量控制系統(tǒng)提供了兼具緊湊結構與高精度控制能力的質量流量控制解決方案。

型號SMFC-0005的核心技術優(yōu)勢在于其緊湊化設計、高精度控制性能與快速響應的配合。該產品為常閉型（NC）直動式電磁閥，適用流體為氮氣、空氣、氧氣，滿量程流量5L/min，可控流量范圍4至100%FS（0.2至5L/min），可覆蓋中小流量的精確控制需求。流量控制精度在2至5L/min范圍內為±5.0%RD，0.2至2L/min范圍內為±3.0%FS，重復性±1.5%FS，具有較好的控制準確度與一致性。響應時間在設定流量精度±2%FS范圍內2秒以內，可滿足快速調節(jié)的應用需求。工作壓差范圍0.05至0.2MPaG，耐壓0.3MPaG（流量傳感器部分為0.05MPaG），允許工作溫度5至50℃，允許工作濕度30至85%RH（無冷凝）。重量約200g，安裝方向自由。

在電氣與控制接口層面，SMFC-0005支持模擬輸入（1至5V）與RS232C串行通信兩種流量設定方式，設置分辨率0.01L/min，適配多種控制系統(tǒng)。連接器采用S10B-PH（底座）與PHR-10（外殼）規(guī)格，便于系統(tǒng)集成。閥門氣體接觸材質為PPS、不銹鋼、氟橡膠、黃銅及硅膠（傳感器部分），具有良好的耐腐蝕性與密封可靠性。連接端口為輸入φ4或φ6/輸出φ4或φ6，適配多種管路接口標準。

從典型應用場景來看，SMFC-0005適用于半導體制造工藝氣體的流量精確控制、分析儀器的載氣流量調節(jié)、醫(yī)療設備的呼吸氣體流量控制、環(huán)境監(jiān)測設備的標準氣體流量供給，以及各類需要緊湊型高精度質量流量控制的裝置等場景。池田屋技術團隊指出，該型號在精密控制與自動化設備方面表現(xiàn)穩(wěn)健，是緊湊型質量流量控制應用的可靠選擇。

池田屋實業(yè)有限公司表示，此次將高野SMFC-0005型緊湊型質量流量控制器引入國內市場，旨在為本土精密儀器與流體控制設備制造領域提供兼具緊湊結構與高精度控制能力的電磁驅動解決方案。未來，池田屋將持續(xù)圍繞精密控制、自動化設備與電磁驅動三大方向深耕，助力中國精密氣體流量控制裝備的國產化與小型化升級。