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全新 BROOKS 簡化流量控制儀器 SLA5850
長期零點穩定性：0.2%滿量程/年或更小
高精準度
額定流量范圍廣 - 0.003 至 2500 slpm
高壓額定值 - 高達 1500 psi/100 bar（可選：4500 psi/310 bar）
可配置的多氣體/多范圍功能
易于訪問的獨立診斷/服務端口
廣泛的通信選項，包括 DeviceNet®、EtherCAT®、Profibus® 和 RS-485、模擬接口
模塊化設計，方便工廠或現場維護
傳感器的長期穩定性消除了維護或定期重新校準的需要，從而降低了總擁有成本
Brooks Instrument 專有的熱傳感器技術可提高信噪比并提高低設定點下的流量精度
通過一個設備平臺兼容各種氣體范圍/流量范圍
最多可以編程和保存 6 種校準類型。通過一臺設備即可在不同氣體和范圍之間切換，從而減少庫存
用戶可以輕松訪問服務端口，并簡化安裝、故障排除和診斷任務，而無需中斷流量控制器操作
耐用的金屬頂蓋可防止安裝過程中損壞
多協議通信接口簡化了與現有系統的集成
通過基于全球標準的高性能測量和校準實現高精度
化學和石化催化劑研究和中試工藝
實驗室和分析系統
燃料電池技術
生命科學生物反應器
17025 認證設備（包括線性度，不包括校準系統測量不確定度，根據 SEMI E69）
±0.6% SP (20-100% FS)
±0.12% 滿量程 (<20% 滿量程)
1100 slpm 至 2500 slpm：±0.6% FS
標準設備（包括參考標準的不確定性
±0.9% SP (20-100% FS)
±0.18% 滿量程 (2-20% 滿量程)
1100 slpm 至 2500 slpm：滿量程的 ±1.0%
0.20% SP
包含在準確度中
0.003 - 100 slpm：<1 秒
100 - 2500 slpm：<3 秒
標準
.003-200 slpm：1500 psi/103 巴
100 - 2500 slpm：1000 psi/70 巴
最大 50 slpm 設備上可選 4500 psi/310 bar
1-50 slpm：FS 調節比為 100:1
50-2500 lpm：FS 調節比為 50:1
每年 < 0.2%FS
零：每o C < FS 的 0.05%
量程：每o C < SP 的 0.1%
0.03% 每 psi (0-200 psi N2 )
重新調零后與規定精度的最大偏差<0.2% FS
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