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日本ULVAC愛發科 GR60A 簡單結構的干泵GR系列
特點
通過對轉子軸和鋁合金等主要部件進行特殊涂層處理，進行腐蝕。
采用ULVAC 設計的底座軸，實現高性能的排粉。
從大氣壓到極限壓力，可以在全壓力區域連續運行。
目的
半導體和電子器件制造設備相關的真空排氣系統，如刻蝕設備、去膠設備、離子清洗設備等。
真空熱處理爐真空排氣系統，如燒結爐、滲碳爐等。
鋰電池制造設備真空排氣系統，如電極干燥設備、脫泡設備、注液設備等。
醫療食品設備相關的真空排氣系統，如冷凍干燥設備、真空干燥設備等。
螺桿型干式真空泵。在傳統LS系列的基礎上，提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設計
| 型號 | GR60A | GR90A | GR180A | |||||
| 最大排氣速度 | 50Hz | m3/h(L/min) | 62(1030) | 112(1860) | 183(3100) | |||
| 60Hz | m3/h(L/min) | 80(1333) | 126(2100) | 237(3850) | ||||
| 極限壓力 *1 | Pa | 5.0 | ||||||
| 最大排氣壓力（吸入圧力） | 大氣壓 | |||||||
| 最大排氣口壓力（排出圧力） | Pa | 1.0 ~ 大氣壓 | ||||||
| 吸氣口 | VG50 | VG80 | ||||||
| 排氣口 | NW40 | |||||||
| DRP表面處理 | 〇 | |||||||
| 電機 | 輸出 [kW] | 2.2 | 3.7 | 7.5 | ||||
| 電壓 [V] | 50Hz | 200~240/380~415 | ||||||
| 60Hz | 200~240/380~460 | |||||||
| 質量 | kg | 128 | 188 | 268 | ||||
| 冷卻方式 | 冷卻水 一次供給壓力 | MPa | 0.1~0.3 | |||||
| 冷卻水 出入口壓差 | MPa | >0.1 | ||||||
| 冷卻水溫度 | ℃ | 10~30 *2 | ||||||
| 冷卻水流量 | L/min | >5.0 | ||||||
| 氮氣 | 一次側 供給圧力 | MPa | 0.1~0.5 | |||||
| 二次側 調整圧力 *3 | MPa | 0.05 to 0.1 (運作時) | ||||||
| 軸 | SLM | 5.0 *4 | ||||||
*1 極限壓力是氮氣（軸封氣體）為5.0 SLM時的值。
*2 不結露。
*3 通過調節器調節壓力計值。
*4 氮氣（軸封氣體）的流量固定為5.0SLM。
| 型號 | 材質 | 表面處理 | 重量(kg) | 法蘭接口 | GR60A | GR90A | GR180A | |
| 消音器 | RS-01+ 套件A | SUS304 | GBB處理 | 4.1 | KF40 | 〇 | 〇 | - |
| RS-01+ 套件C | SUS304 | GBB處理 | 8.3 | KF40 | - | - | 〇 | |
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