產品分類

Product Category

產品中心

首頁 > 產品中心 > ULVAC愛發科 > 真空泵 > 新品ULVAC愛發科濺射離子泵PST 系列

新品ULVAC愛發科濺射離子泵PST 系列

簡要描述：新品ULVAC愛發科濺射離子泵PST 系列
提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設計

產品型號：PST-030CU
廠商性質：經銷商
更新時間：2025-11-16
訪問量：532

產品咨詢聯系我們

詳情介紹

新品ULVAC愛發科濺射離子泵PST 系列

新品ULVAC愛發科濺射離子泵PST 系列

使用安裝組件可無需支架直接搭載

標配熱傳感器

熱傳感器可以監測真空泵溫度的異常上升，通知油量的減少和泵的異常。

內置油霧過濾器的大容量油箱

大容量油箱（油容量：23~30L）減少油的更換頻率。油箱內置方便更換的盒式濾芯。

被油霧過濾器回收的油會自動回到泵內。油凈化裝置去除混入的雜質。

特點

安裝方向自由

安裝方向沒有限制，擴展了設備設計的自由度。

搭載控制器

控制器安裝在主體上，有效地減少了布線并減小了排氣系統的尺寸。

高壓縮比?高排氣圧力

高壓縮比和高背壓操作使得輔助泵可以實現小型化。

三種法蘭可供選擇

VG、ICF、ISO-K三種類型的吸氣口法蘭可供選擇。

清潔真空

在運行時以及泵停止時，碳氫化合物的回流很少。

用途

分析設備、研究開發設備、實驗設備等的主排氣系統

蒸發設備、濺射設備等著排氣系統

H2、He等輕氣體主排氣系統

規格

型號		PST-030CU	PST-030AU	PST-050CU	PST-050AU	PST-100CX	PST-100AX
主要對象氣體		活性氣體	希有氣體	活性氣體	希有氣體	活性氣體	希有氣體
排氣速度* (再生排氣速度)		0.03m³/s(N₂測定時)	0.013m³/s(Ar 測定時)	0.045m³/s(N₂測定時)	0.016m³/s(Ar 測定時)	0.10m³/s(N₂ 測定時)	0.05m³/s (Ar 測定時)
到達壓力		10^-9Pa
動作壓力	推薦值	<8.0×10^-3Pa				<5.0 x 10^-3Pa
內容積		0.67 X 10^-3m³		1.3x10^-3m³		3.3x10^-3m³
泵元件數量		CU型單元×1 式	AU sell×1式	CU sell×1	AU sell×1	CX sell×1	AX sell×1
連接法蘭規格		UFC070		UFC114		UFC152
施加電壓		DC+7.5kV
加熱器		無設定		AC200V, 300W		AC200V, 320W
烘烤溫度		250℃
質量		9.5 kg		12kg		37kg
外形尺寸	W x H x D	103×183×187 mm		153×204×241mm		155×336×340mm
使用環境	溫度范圍	5~40℃
	濕度范圍	85%以下(無結露)
固定泵的螺栓孔尺寸		4處-M5 深10mm				4處-M8 深6mm
推薦的控制器		GST-07L-B

*1 GST-07L-B型控制器使用時

型號		PST-110AU	PST-200CXII	PST-200AXII	PST-400CXII	PST-400AXII
主要對象氣體		活性氣體	活性氣體	希有氣體	活性氣體	希有氣體
排氣速度* (再生排氣速度)		0.11m³/s(N₂ 測定時)	0.2m³/s(N₂ 測定時)	0.02m³/s (Ar 測定時)	0.36m³/s(N₂ 測定時)	0.19m³/s (Ar 測定時)
到達壓力		10-9Pa	10^-10Pa
動作壓力	推薦值	<4.5x10^-3Pa	<3.8x10^-3Pa		<3.0x10^-3Pa
內容積		6.5x10^-3m³	11x10^-3m³		14x10^-3m³
泵元件數量		AU sellx1	CX sell×2	AX sell×2	CX sell×4	AX sell×4
連接法蘭規格		UFC152	UFC203
施加電壓		DC+7.5kV
加熱器		無設定	AC200V, 600W		AC200V, 800W
烘烤溫度		250℃
質量		36.5kg	65kg		124kg
外形尺寸	W x H x D	171×387×293mm	296×361×376mm		296×544×376mm
使用環境	溫度范圍	5~40℃
	濕度范圍	85%以下(無結露)
固定泵的螺栓孔尺寸		4處-M6 深5mm	4處-M8 深15mm		6處-M8 深度15mm
推薦的控制器		GST-07L-B

*1 GST-07L-B型控制器使用時

PST系列控制器

型號			GST-07L-B
輸入規格	輸入電壓、電流		AC100～115V±10% ? 50/60Hz～3.0A
			AC200～240V±10% ? 50/60Hz～1.5A
	泄露電流		6mA以下
	輸入電壓切換方式		手動(通過電源內部DIP開關操作)
輸出規格	額定電壓		DC +7.5kV(約1.0~7.5kV大小可變)
	額定電流		DC30mA以下
	輸出極性		正極性
	輸出特性		恒壓特性
顯示方式			數字顯示(7段 LED顯示）
表示范圍	輸出電流顯示范圍		1μA~30mA(mA, μA兩種單位自動切換)
	輸出電壓顯示范圍		0.0～7.5 kV DC
	壓力顯示	Pa	1×10^-8～1×10^-2
		mbar	1×10^-10～1×10^-4
壓力設定點			2點
保護功能			錯誤顯示/配備各種保護功能
			顯示亮燈，高電壓 (HV) 輸出斷開 (Err. 0-8)
停電后的恢復			在HV-ON開關處于ON狀態時，停電后可自動恢復。
外部控制功能			各種輸入功能 (付REMOTE接頭), 搭載RS232C通訊控制
Monitor端子輸出信號			根據面板7位顯示比例的輸出, 各段DC0～10V F.S
			允許負載阻抗100kΩ以上
REMOTE/LOCAL			通過前面板的開關進行切換
冷卻方式			強制空冷方式
質量			本體 : 4.0kg
外形尺寸	W×H×D		200 x 99 x 370 mm (架子安裝五金件除外)
使用環境	溫度范圍		0 ～ 40℃
	濕度范圍		85%以下(無結露)
符合規格			CE, cTUVus

留言框

產品：
您的單位：
您的姓名：
聯系電話：
常用郵箱：
省份：
詳細地址：
補充說明：
驗證碼：

請輸入計算結果（填寫阿拉伯數字），如：三加四=7

上一條：UTM70B進口ULVAC愛發科標準渦輪分子泵UTM?B系列
下一條：GST-07L-B總經銷ULVAC愛發科離子泵控制器PST系列用控制器

新品ULVAC愛發科 濺射離子泵PST 系列

規格

PST系列控制器

留言框

產品：

您的單位：

您的姓名：

聯系電話：

常用郵箱：

省份：

詳細地址：

補充說明：

驗證碼：

新品ULVAC愛發科濺射離子泵PST 系列