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全新進口ULVAC愛發科 輕量緊湊低溫泵設備
使用 安裝組件可無需支架直接搭載
標配熱傳感器
熱傳感器可以監測真空泵溫度的異常上升，通知油量的減少和泵的異常。
內置油霧過濾器的大容量油箱
大容量油箱（油容量：23~30L）減少油的更換頻率。 油箱內置方便更換的盒式濾芯。
被油霧過濾器回收的油會自動回到泵內。 油凈化裝置去除混入的雜質。
特點
安裝方向自由
安裝方向沒有限制，擴展了設備設計的自由度。
搭載控制器
控制器安裝在主體上，有效地減少了布線并減小了排氣系統的尺寸。
高壓縮比?高排氣圧力
高壓縮比和高背壓操作使得輔助泵可以實現小型化。
三種法蘭可供選擇
VG、ICF、ISO-K三種類型的吸氣口法蘭可供選擇。
清潔真空
在運行時以及泵停止時，碳氫化合物的回流很少。
用途
分析設備、研究開發設備、實驗設備等的主排氣系統
蒸發設備、濺射設備等著排氣系統
H2、He等輕氣體主排氣系統
| 排氣速度(20℃) | 氮 | L/s | 1,700 |
| 氫 | 2,700 | ||
| 氬 | 1,400 | ||
| 水 | 4,000 | ||
| 極限壓力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
| 最大流量 | 氬 | Pa?L/s(Torr?L/s) | 1.2×103(8.9) |
| 氫 | 2.4×102(1.8) | ||
| 排氣容量 | 氬 | Pa?L(Torr?L) | 1.0×108(7.6×105) |
| 氫 | 1.0×106(7.6×103) | ||
| 冷卻下降時間(動力循環) | min(Hz) | 100/90(50/60) | |
| 吸氣口法蘭 | UVG-200,6BANSI,UFC-253 | ||
| 壓縮機組 | C10T,C10AT | ||
| 重量 | Kg | 20.8 | |
*維護周期：16,000小時
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