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ULVAC愛發科 回轉式多傳感器 CRTS-M6
操作性的提高：通過與PC/智能手機的連接，可以進行設定點設置、狀態確認等。
燈絲壽命通知功能：通過監測燈絲功率，可提前通知燈絲壽命。
可連接到不同的測量范圍：復合電離真空計可以根據工藝選擇測定子。
小型化：與之前的產品相比，實現了尺寸的大幅縮小（控制器體積縮小56%），成為同級別最小的產品之一。
更豐富的陣容：除了模擬輸出規格和串行通信規格之外，還將增加EtherCAT規格
一臺三極管金屬電離真空計（正在申請）：即使在惡劣的環境中，真空計的使用壽命也很長。
壓力測量范圍廣：從大氣壓到高真空范圍（1×10+5～1×10-5Pa）（選配SWU10-R的情況下）。
可以精確的測量大氣壓：可以檢查腔體的開啟情況（當連接了可選的單元SAU時）。
用途
用于有機EL?觸摸屏等制造設備的極限壓力確認以及工藝管理用真空爐等各種工業真空設備的極限壓力確認
用于在含有多種碳氫化合物（油類）的環境中進行測量
用于在真空零件加工時殘留切削油和清潔液的環境中進行測量
用于需要降低測定子更換頻率的真空設備
多傳感器
CRTS 系列
愛發科
可搭載6枚5MHz或6MHz的水晶振動子
使用了真空電機的獨-特驅動方式實現了高可靠性
水晶震動子的更換非常方便
當檢測到水晶振動子振蕩異常時，可以自動進行水晶振動子切換（當CRTM系列用作控制器時）
由于傳感器頭很小（直徑50mm），可以靈活地連接到成膜系統。
光學、光通信部品的蒸發
有機物的蒸發
電子部品,其他蒸發
| 感測頭 | |
| 已裝備水晶數量 | 6 件 |
| 晶體容量 | 4MHz、 5MHz 或 6MHz（可選）AT 切割晶體 |
| 耐熱溫度 | 350℃ |
| 冷卻水量 | 1升/分鐘 |
| 重量 | 1公斤 |
| 方面 | Φ50mm x H 約89mm |
| 控制器 | |
| 數字輸入 | 初始化、計數、停止 |
| 數字輸出 | 傳感器編號、忙碌、錯誤、重試、結束 |
| 公用事業 | DC24V，3.0A |
| 尺寸 寬×深×高 | 100 毫米 x 252 毫米 x 99 毫米 |
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