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近日,池田屋實業有限公司宣布正式推出瑞士VAT公司29.2系列HV帶軟啟動功能角閥。該產品將主閥與旁通閥集成于單一緊湊組件,壓力范圍覆蓋1×10??mbar至2bar(絕對壓力),泄漏率低于1×10??mbar·L/s,適配DN 100(4英寸)與DN 160(6英寸)口徑,法蘭標準為ISO-KF與ISO-K,閥體材質可選鋁或不銹鋼。通過旁通閥的逐步開啟,有效避免湍流與冷凝現象,特別適用于大流量負載鎖定腔室的抽真空過程,為敏感生產工藝提供精確可控的軟啟動隔離解決方案。
正文:
在半導體制造、平板顯示及太陽能電池生產等真空工藝中,負載鎖定腔室的快速抽真空是提升生產效率的關鍵環節。然而,當閥門在大壓差條件下突然開啟時,高速氣流會產生湍流,可能攪動顆粒物并導致微粒污染,同時急劇的壓力變化可能引發冷凝效應,對工藝參數產生不利影響。傳統單一閥門在軟啟動功能與流量調節范圍方面存在局限。針對這一行業需求,池田屋實業有限公司正式引入瑞士VAT公司29.2系列HV帶軟啟動功能角閥。該產品的推出,為大流量敏感生產工藝提供了兼具可調軟啟動功能、大電導范圍與緊湊設計的真空隔離解決方案。
型號29.2的核心技術優勢在于其主閥與旁通閥一體化集成設計及可調軟啟動功能的創新結合。該產品將主閥與旁通閥組合于單一緊湊組件中,通過旁通閥的逐步開啟實現軟啟動效果,有效避免湍流與冷凝現象。閥門側面的調節輪可對軟啟動效果進行精細調節,配備11個位置標記,便于精確校準與參數復現,確保不同閥門間設定的一致性。壓力范圍覆蓋1×10??mbar至2bar(絕對壓力),泄漏率低于1×10??mbar·L/s。適配DN 100(4英寸)與DN 160(6英寸)口徑,主閥與旁通閥提供多種組合(DN 100/DN 25旁通,DN 160/DN 25、DN 40或DN 63旁通)。法蘭標準為ISO-KF與ISO-K,閥體材質可選鋁或不銹鋼。關閉方向壓差≤2.0bar,開啟方向壓差≤1.2bar,開口處壓差≤1bar。閥體最高耐受溫度150℃,執行器最高80℃。
在結構設計與操作靈活性層面,29.2系列同樣表現。產品提供氣動單作用常閉與雙作用兩種執行器選項,配備可視位置指示與電信號輸出。可選配集成PTC加熱器,適用于易發生冷凝的溫度敏感工藝。模塊化設計便于快速簡便的維護操作。
從典型應用場景來看,29.2系列適用于半導體負載鎖定腔室的抽真空控制、平板顯示制造中的大流量真空隔離、太陽能電池生產的真空工藝,以及各類需要避免湍流與冷凝的敏感真空工藝等場景。池田屋技術團隊指出,29.2系列在精密測量與自動化控制方面表現穩健,是大流量敏感真空工藝軟啟動隔離應用的理想選擇。
池田屋實業有限公司表示,此次將VAT 29.2系列HV帶軟啟動功能角閥引入國內市場,旨在為本土半導體與制造企業提供兼具可調軟啟動功能與緊湊設計的真空隔離流體管理解決方案。未來,池田屋將持續圍繞精密測量、自動化控制與流體管理三大方向深耕,助力中國真空技術的裝備升級與效能提升。
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