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近日,池田屋實業有限公司宣布正式推出瑞士VAT公司29.2系列HV帶軟啟動功能角閥(型號:29240-QA31)。該產品將主閥與旁通閥集成于單一緊湊組件,配備電磁閥,壓力范圍覆蓋1×10??mbar至2bar(絕對壓力),泄漏率低于1×10??mbar·L/s,適配DN 100(4英寸)口徑與ISO-K法蘭,電導440L/s。通過旁通閥的逐步開啟,有效避免湍流與冷凝現象,為敏感生產工藝提供精確可控的軟啟動隔離解決方案。
正文:
在半導體制造、平板顯示及太陽能電池生產等真空工藝中,負載鎖定腔室的快速抽真空是提升生產效率的關鍵環節。然而,當閥門在大壓差條件下突然開啟時,高速氣流會產生湍流,可能攪動顆粒物并導致微粒污染,同時急劇的壓力變化可能引發冷凝效應,對工藝參數產生不利影響。傳統單一閥門在軟啟動功能與流量調節范圍方面存在局限。針對這一行業需求,池田屋實業有限公司正式引入瑞士VAT公司29.2系列HV帶軟啟動功能角閥(型號:29240-QA31)。該產品的推出,為大流量敏感生產工藝提供了兼具可調軟啟動功能與緊湊設計的真空隔離解決方案。
型號29240-QA31的核心技術優勢在于其主閥與旁通閥一體化集成設計及可調軟啟動功能的協同配合。該產品將主閥與旁通閥組合于單一緊湊組件中,適配DN 100(4英寸)口徑與ISO-K法蘭,電導高達440L/s,可滿足大流量真空系統的通斷需求。通過旁通閥的逐步開啟實現軟啟動效果,有效避免湍流與冷凝現象,保護敏感工藝。閥門側面的調節輪可對軟啟動效果進行精細調節,配備11個位置標記,便于精確校準與參數復現。壓力范圍覆蓋1×10??mbar至2bar(絕對壓力),泄漏率低于1×10??mbar·L/s。閘板壓差≤2bar,開口處壓差≤0.3bar。采用氣動單作用常閉執行器(帶閉合彈簧,NC),配備電磁閥,便于自動化集成與控制。閥體材質為鋁,關閉時間1s,閥體最高耐受溫度150℃,執行器最高120℃,電磁閥最高50℃。重量9kg。
在結構設計與操作靈活性層面,29240-QA31同樣表現。產品提供多種升級選項,包括客戶特定法蘭、不同規格電磁閥、位置指示器和電磁閥的通用連接器、高溫位置指示器及替代密封材料等,用戶可根據實際應用需求靈活配置。
從典型應用場景來看,型號29240-QA31適用于半導體負載鎖定腔室的抽真空控制、平板顯示制造中的大流量真空隔離、太陽能電池生產的真空工藝,以及各類需要避免湍流與冷凝的敏感真空工藝等場景。池田屋技術團隊指出,29.2系列在精密測量與自動化控制方面表現穩健,是大流量敏感真空工藝軟啟動隔離應用的理想選擇。
池田屋實業有限公司表示,此次將VAT 29.2系列HV帶軟啟動功能角閥29240-QA31引入國內市場,旨在為本土半導體與制造企業提供兼具可調軟啟動功能與緊湊設計的真空隔離流體管理解決方案。未來,池田屋將持續圍繞精密測量、自動化控制與流體管理三大方向深耕,助力中國真空技術的裝備升級與效能提升。
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