池田屋新品ULVAC MS系列螺桿型干式真空泵

池田屋新品ULVAC MS系列螺桿型干式真空泵

池田屋新品ULVAC MS系列螺桿型干式真空泵

摘要： 在半導體刻蝕、真空熱處理及鋰電池制造等工藝中，腐蝕性氣體與粉塵對真空泵的耐用性提出嚴峻挑戰。池田屋全新引入的日本ULVAC（愛發科）MS系列螺桿型干式真空泵，采用特殊涂層處理與獨特的轉子軸設計，顯著提升了耐腐蝕性與粉塵排出性能，支持從大氣壓到極限壓力的全壓力區域連續運行，為半導體、電子器件及化工領域的真空排氣系統提供了高可靠性的干式真空解決方案。

正文：

在半導體刻蝕與去膠設備、真空熱處理爐以及鋰電池電極干燥等工藝中，真空泵常常需要面對腐蝕性氣體和工藝粉塵的雙重考驗。傳統油封泵不僅存在油蒸汽回流污染工藝腔室的風險，且易被腐蝕性介質損壞。無油干式真空泵雖然解決了潔凈問題，但普通干泵在處理含腐蝕性氣體或粉塵的工藝時，耐久性往往不足。為應對這一挑戰，池田屋引入ULVAC MS系列螺桿型干式真空泵。

MS系列是ULVAC在傳統LS系列基礎上開發的工藝強化型螺桿干泵。其核心優勢在于耐腐蝕與耐粉塵能力。通過對轉子軸、氣缸等核心部件進行特殊涂層處理，有效抵御了工藝氣體的化學侵蝕。同時，采用ULVAC獨特的轉子軸設計，實現了高效的粉末排出性能，顯著降低了因粉塵堆積導致的泵體故障風險，延長了維護周期。此外，該泵具備在從大氣壓到極限壓力的全壓力范圍內連續運行的能力，適應性。

MS系列提供三款型號以滿足不同抽速需求：MS120A（最大抽速115 m3/h）、MS600A（最大抽速560 m3/h）和MS1200A（最大抽速980 m3/h）。其極限壓力分別可達≤0.6 Pa（MS120A）和≤0.1 Pa（MS600A/MS1200A）。該系列泵采用三相200V或400V電源，功耗分別為2.4kW、3.1kW和3.1kW，冷卻水流量要求大于4.0 L/min，噪音水平在61至64 dB(A)之間。泵體提供KF、VG及ISO-F等多種法蘭接口，并標配消音器及CE、cTUVus安全認證。用戶還可根據工藝需求選配FKM或FFKM密封材質，進一步增強耐化學性。

行業觀察人士指出，在半導體與新能源電池制造向高純度、高精度方向發展的趨勢下，耐腐蝕、耐粉塵的干式真空泵已成為關鍵制程的核心裝備。池田屋此次引入的ULVAC MS系列螺桿型干式真空泵，以其強化耐腐蝕設計、高效粉塵排出能力及寬壓力范圍連續運行等核心優勢，為國內半導體、電子器件及鋰電池制造領域的真空系統提供了可靠的干式泵選擇。

綜合來看，該系列產品的推廣應用，有助于提升腐蝕性與含粉塵工藝的真空系統可靠性，為制造與工藝優化提供堅實的技術支撐。