池田屋新品ULVAC LS系列螺桿型干式真空泵

池田屋新品ULVAC LS系列螺桿型干式真空泵

池田屋新品ULVAC LS系列螺桿型干式真空泵

摘要： 在半導體鍍膜、濺射及真空干燥等工藝中，兼具高速排氣與低功耗的干式真空泵是提升設備效率與降低運行成本的關鍵。池田屋全新引入的日本ULVAC（愛發科）LS系列螺桿型干式真空泵，通過的螺桿形狀與節電技術融合，實現大氣壓附近最大80m3/h的排氣速度與低至0.6kW的極限功耗，提供120至1000m3/h四種抽速型號，為清潔工藝與輕工藝場景提供了高性價比的真空解決方案。

正文：

在半導體鍍膜與濺射、load lock室抽空以及真空干燥、冷凍干燥等工藝中，干式真空泵的排氣速度與能耗直接影響到設備的生產效率與運營成本。傳統干式真空泵為提升抽速往往需消耗大量電能，且噪音問題突出。為應對這一挑戰，池田屋引入日本ULVAC LS系列螺桿型干式真空泵。

LS系列通過的螺桿形狀設計與ECO-SHOCK節電技術的融合，實現了高速排氣與低功耗的兼顧。其大氣壓附近的排氣速度最大可達80m3/h，相較傳統真空泵排氣時間可縮短約20%。C規格型號標配ECO-SHOCK技術，極限壓力下的消耗電量可降至0.6kW以下，顯著降低長期運行成本。標配專用消音器，極限壓力下噪音值低至61dB(A)，解決了干式真空泵的噪音困擾。

LS系列提供LS120A、LS300A、LS600A、LS1200A四款型號，最大排氣速度分別為120、380、600、1000m3/h，極限壓力LS120A可達≤0.6Pa，其他型號可達≤0.1Pa。用戶可根據設備大小與用途選擇最佳排氣容量的泵。該系列無需軸封氣體，以氮氣和空氣排氣為主的清潔工藝可有效降低運行成本。如需進一步提高排氣速度，可搭配機械增壓泵使用，組合排氣速度可達120～1200m3/h。

在應用方面，LS系列提供兩種規格選擇：C規格（清潔工藝型） 內置ECO-SHOCK低功耗技術，適用于濺射、鍍膜、load lock室抽空及TMP輔助等空氣和N?排氣場景；L規格（輕工藝型） 具備表面處理和凈化功能，適用于水蒸汽和揮發性藥液排氣的真空干燥、冷凍干燥、灰化及一般工業用途。

行業觀察人士指出，在半導體與工業制造領域，兼顧高抽速與低能耗的干式真空泵正成為產線升級的重要方向。池田屋此次引入的ULVAC LS系列螺桿型干式真空泵，以其高速排氣、低功耗運行及低噪音設計等核心優勢，為國內清潔工藝與輕工藝場景提供了高效節能的真空解決方案。

綜合來看，該系列產品的推廣應用，有助于提升半導體鍍膜、load lock抽空及真空干燥等工藝的排氣效率與能源利用率，為制造與工藝優化提供堅實的技術支撐。