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原裝現貨ULVAC愛發科 堅固型高真空泵 池田屋實業
使用 安裝組件可無需支架直接搭載
標配熱傳感器
熱傳感器可以監測真空泵溫度的異常上升，通知油量的減少和泵的異常。
內置油霧過濾器的大容量油箱
大容量油箱（油容量：23~30L）減少油的更換頻率。 油箱內置方便更換的盒式濾芯。
被油霧過濾器回收的油會自動回到泵內。 油凈化裝置去除混入的雜質。
特點
安裝方向自由
安裝方向沒有限制，擴展了設備設計的自由度。
搭載控制器
控制器安裝在主體上，有效地減少了布線并減小了排氣系統的尺寸。
高壓縮比?高排氣圧力
高壓縮比和高背壓操作使得輔助泵可以實現小型化。
三種法蘭可供選擇
VG、ICF、ISO-K三種類型的吸氣口法蘭可供選擇。
清潔真空
在運行時以及泵停止時，碳氫化合物的回流很少。
用途
分析設備、研究開發設備、實驗設備等的主排氣系統
蒸發設備、濺射設備等著排氣系統
H2、He等輕氣體主排氣系統
用于使低溫泵運轉。將壓縮后的氦氣送出冷凍機，冷卻從冷凍機回來的高溫氦氣，使之循環。
| 型號 | ULK-04A | ULK-06A | ULK-10A | ULK-14A | |||||
| 排氣速度 | 550L/sec | 500L/sec | 1,200L/sec | 1,100L/sec | 3,400L/sec | 3,000L/sec | 5,400L/sec | 4,900L/sec | |
| 極限壓力 *1 | ＜2.6×10-5 Pa | ＜2.6×10-6 Pa | ＜2.6×10-5 Pa | ＜2.6×10-6 Pa | ＜2.6×10-5 Pa | ＜2.6×10-6 Pa | ＜2.6×10-5 Pa | ＜2.6×10-6 Pa | |
| 臨界背壓 | 40 Pa | 60 Pa | 40 Pa | 60 Pa | 35 Pa | 40 Pa | 30 Pa | 30 Pa | |
| 工作開始 時間 | 9 min | 8.5 min | 16.5 min | 15 min | 20 min | 20 min | 25 min | 25 min | |
| 液壓油 *2 | ULVOIL D-11 | ULVOIL D-31 | ULVOIL D-11 | ULVOIL D-31 | ULVOIL D-11 | ULVOIL D-31 | ULVOIL D-11 | ULVOIL D-31 | |
| 油量 | 0.15 L | 0.35 L | 0.8 L | 1.5 L | |||||
| 水溫 | 19℃～25℃ | ||||||||
| 冷卻水 進水口 (尺寸) | Rc 1/4" | Rc 1/4" | Rc 3/8" | Rc 3/8" | |||||
| 冷卻水量 | 1 L/min | 1 L/min | 1 L/min | 1.5 L/min | 2.5 L/min | 3 L/min | 2.5 L/min | 3.5 L/min | |
| 電壓規格 | 200V/1Φ V | ||||||||
| 電力需求 | 0.55 kW | 0.73 kW | 0.9 kW | 1.2 kW | 2 kW | 2.4 kW | 2.25 kW | 2.4 kW | |
| 加熱器 種類 | 熱板 | 熱板 | 熱板 | 熱板 | |||||
| 推薦 輔助泵 *3 | VD151/VD201 | VD30C/VD40C/VD60C | VD90C | VS1501/VS2401/PKS-030 | |||||
| PVD-180/PVD-360 | VS1501 | ||||||||
| PKS-016/PKS-030 | |||||||||
| 外形尺寸 *4 | A | 175 mm | 250 mm | 340 mm | 340 mm | ||||
| B | 150 mm | 180 mm | 240 mm | 240 mm | |||||
| H | 344 mm | 449 mm | 650 mm | 670 mm | |||||
| 吸氣口 | VG100 | VG150 | VG250 | VG350 | |||||
| 排氣口 | VG25 | VG40 | VG80 | VG80 | |||||
| 重量 | 7.5 Kg | 13.5 Kg | 47 Kg | 56 Kg | |||||
| 油位計 | 無 | 無 | 視窗 | 視窗 | |||||
| 溫控器 選項 | 有 | 有 | 有 | 有 | |||||
| 恒溫器 設定溫度 | 250 | 250 | 180 | 180 | |||||
*1 當冷卻水量為20℃時，極限壓力基于電離真空計。
*2 D-11是烴類通用油，D-31是具有高熱穩定性的硅基擴散泵油。
*3 這里是根據擴散泵最大流量來選擇輔助泵的。
通常情況下，考慮到粗抽時間，使用比這里所示的更大的機械增壓泵和油回轉真空泵也是合適的。
*4 關于其他尺寸，請確認本公司網站上的CAD數據（二維圖紙、三維圖紙）。
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