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全新 ULVAC愛發科 通用油擴散噴射泵
使用 安裝組件可無需支架直接搭載
標配熱傳感器
熱傳感器可以監測真空泵溫度的異常上升，通知油量的減少和泵的異常。
內置油霧過濾器的大容量油箱
大容量油箱（油容量：23~30L）減少油的更換頻率。 油箱內置方便更換的盒式濾芯。
被油霧過濾器回收的油會自動回到泵內。 油凈化裝置去除混入的雜質。
特點
安裝方向自由
安裝方向沒有限制，擴展了設備設計的自由度。
搭載控制器
控制器安裝在主體上，有效地減少了布線并減小了排氣系統的尺寸。
高壓縮比?高排氣圧力
高壓縮比和高背壓操作使得輔助泵可以實現小型化。
三種法蘭可供選擇
VG、ICF、ISO-K三種類型的吸氣口法蘭可供選擇。
清潔真空
在運行時以及泵停止時，碳氫化合物的回流很少。
用途
分析設備、研究開發設備、實驗設備等的主排氣系統
蒸發設備、濺射設備等著排氣系統
H2、He等輕氣體主排氣系統
用于使低溫泵運轉。將壓縮后的氦氣送出冷凍機，冷卻從冷凍機回來的高溫氦氣，使之循環。
| 型號 | PBL-02 | PBL-04 | PBL-06 | PBL-10 | PBL-14 | PBL-20 | |
| 排氣速度 | 80 L/sec | 200 L/sec | 500 L/sec | 1800 L/sec | 4000 L/sec | 7000 L/sec | |
| 極限壓力 *1 | 2.7×10-2 Pa | ||||||
| 臨界背壓 | 40 Pa | ||||||
| 工作開始時間 | 20 min | 30 min | 30 min | 40 min | 50 min | 60 min | |
| 液壓油 | ULVOIL B-6 | ||||||
| 油量 | 0.1 L | 0.6 L | 7.5 L | 18 L | 36 L | 90 L | |
| 水溫 | 19～25℃ | ||||||
| 冷卻水進水口(尺寸) | Rc 1/8×1 | Rc 1/4×1 | Rc 3/8×2 | Rc 1/2×2 | Rc 1/2×3 | Rc 1/2×3 | |
| Rc 3/8×1 | |||||||
| 冷卻水量 | 1.5 L/min | 5 L/min | 8 L/min | 12 L/min | 18 L/min | 25 L/min | |
| 電壓規格 | 200V / 1φ | 200V / 3φ | |||||
| 電力需求 | 0.44 kW | 1.8 kW | 4 kW | 8 kW | 11 kW | 18 kW | |
| 2kW x 2個 | 4kW x 2個 | 5.5kW x 2個 | 6kW x 3個 | ||||
| 加熱器種類 | 墨盒加熱器 | 盤繞加熱器 | 管道加熱器 | 管道加熱器 | 管道加熱器 | 管道加熱器 | |
| 推薦輔助泵 *2 | VD201/VD30C PVD-360 | PKS-016 VS1501 | PKS-030 VS2401 | PKS-070 (PMB600D＋ PKS-030) (PMB600D＋ VS1501) | PMB1200D＋ PKS-030 PMB1200D＋ VS1501 | PMB-040C＋ PKS-070 (PMB2400D＋ PKS-070) | |
| 外形尺寸 *3 | A | 100 mm | 150 mm | 200 mm | 300 mm | 340 mm | 510 mm |
| B | 70 mm | 112 mm | 152 mm | 346 mm | 548 mm | 422 mm | |
| H | 463 mm | 524 mm | 973 mm | 1,321 mm | 1,687 mm | 2,320 mm | |
| 吸氣口 | VG50 | VG100 | VG150 | VG250 | VG350 | VG500 | |
| 排氣口 | 3/4B hose fittings | VG40 | VG50 | VG80 | VG100 | VG200 | |
| 重量 | 6 | 17 | 86 | 198 | 313 | 495 | |
| 油位計 | 無 | 無 | 帶 量油尺 | 帶 量油尺 | 帶 量油尺 | 帶 量油尺 | |
| 溫控器選項 | 無 | 無 | 無 | 無 | 無 | 無 | |
| 恒溫器設定溫度 | - | - | - | - | - | - | |
| 型號 | BW-02 | BW-04B | BW-06B | BW-10 | BW-14 | BW-20 | |
| 電導 | 100 L/sec | 940 L/sec | 2,200 L/sec | 3,130 L/sec | 5,000 L/sec | 13,000 L/sec | |
| 外直徑(尺寸) *3 | D | φ120 mm | φ149 mm | φ199 mm | φ350 mm | φ450 mm | φ625 mm |
| T | 16 mm | 28 mm | 28 mm | 44 mm | 50 mm | 152 mm | |
| t | 16 mm | 25 mm | 25 mm | 22 mm | 22 mm | 24 mm | |
| 冷卻水進水口(尺寸) | Rc 1/8 | Rc 1/4 | Rc 1/4 | Rc 1/4 | Rc 3/8 | Rc 3/8 | |
| 水容量 | 1.5 L/min | 0.7 L/min | 1 L/min | 2 L/min | 2 L/min | 3 L/min | |
| 重量 | 1 kg | 1.3 kg | 1.7 kg | 7.6 kg | 11 kg | 22 kg | |
*1 當冷卻水量為20℃時，極限壓力基于電離真空計。
*2 這里是根據擴散泵最大流量來選擇輔助泵的。通常情況下，考慮到粗抽時間，
使用比這里所示的更大的機械增壓泵和油回轉真空泵也是合適的。
*3 關于其他尺寸，請確認本公司網站上的CAD數據（二維圖紙、三維圖紙）。
油擴散泵
BW 系列
BW-02
ULVAC
油擴散泵
BW 系列
BW-04B
ULVAC
油擴散泵
BW 系列
BW-06B
ULVAC
油擴散泵
BW 系列
BW-10
ULVAC
油擴散泵
BW 系列
BW-14
ULVAC
油擴散泵
BW 系列
BW-20
ULVAC
油擴散泵
BW 系列
BW-22
ULVAC
油擴散泵
BW 系列
BW-36
ULVAC
油擴散泵
BW 系列
BW-52
ULVAC
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